電子半導(dǎo)體晶圓級(jí)封裝對(duì)溫度控制精度要求達(dá)到納米級(jí)別,蘇州新久陽(yáng)機(jī)械的晶圓級(jí)封裝專(zhuān)用模溫機(jī),以優(yōu)異的溫控性能保障封裝質(zhì)量。
在晶圓鍵合工藝中,溫度的微小波動(dòng)都會(huì)影響鍵合強(qiáng)度和可靠性。新久陽(yáng)機(jī)械的晶圓級(jí)封裝模溫機(jī)采用亞微米級(jí)溫度傳感器和先進(jìn)的 PID + 自適應(yīng)控制算法,控溫精度高達(dá) ±0.1℃。設(shè)備通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓溫度,并根據(jù)鍵合工藝要求,精確調(diào)節(jié)加熱板溫度,確保鍵合過(guò)程中溫度穩(wěn)定。在倒裝芯片鍵合時(shí),將溫度精確控制在 250 - 300℃,鍵合強(qiáng)度提升 30%,有效降低芯片脫落風(fēng)險(xiǎn)。
此外,該模溫機(jī)具備超潔凈設(shè)計(jì),采用全封閉管路和無(wú)塵材料,避免污染晶圓。在某半導(dǎo)體制造企業(yè)的實(shí)際應(yīng)用中,使用新久陽(yáng)模溫機(jī)后,晶圓級(jí)封裝的良品率從 88% 提升到 96%,助力企業(yè)在高端半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域占據(jù)優(yōu)勢(shì)。
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